
Данная серия печей представляет собой специализированное оборудование для вакуумной высокотемпературной и химической очистки графитовых изделий, порошков, углеродного войлока, углерод-углеродных композиционных материалов, позволяющее стабильно очищать графит до уровня ниже 1 ppm (что соответствует требованиям полупроводникового уровня чистоты 5N5).
Обзор оборудования
Данная серия печей представляет собой специализированное оборудование для вакуумной высокотемпературной и химической очистки графитовых изделий, порошков, углеродного войлока, углерод-углеродных композиционных материалов, позволяющее стабильно очищать графит до уровня ниже 1 ppm (что соответствует требованиям полупроводникового уровня чистоты 5N5). Подразделяются на печи с резистивным нагревом (стандартная температура 2400 °C) и печи с индукционным нагревом (максимальная температура до 3000 °C). Выпускаются в различных конструктивных исполнениях: моноблочные малогабаритные, крупногабаритные горизонтальные или вертикальные, непрерывные интегрированные, с возможностью индивидуального проектирования рабочей камеры и технологического процесса.
| Тип печи / спецификация | Полезный объём рабочей камеры | Максимальная температура | Мощность | Область применения |
| Малогабаритная моноблочная очистная печь | Φ300×600 мм | 2800 °C | 50 кВт | Лабораторные исследования, мелкосерийное производство опытных образцов |
| Малогабаритная моноблочная очистная печь | Φ600×900 мм | 3000 °C | 150 кВт | Мелкосерийное производство высокочистого графита, очистка углеродных нанотрубок |
| Среднегабаритная резистивная очистная печь | φ1300×800 мм | 2400 °C | 330 кВт | Среднесерийное производство графитовых блоков, углеродного войлока |
| Среднегабаритная резистивная очистная печь | φ1300×1400/1600 мм | 2400 °C | 400 кВт | Удлинённые изделия, серийное производство партиями |
| Крупногабаритная резистивная очистная печь | φ1400×1100 мм | 2400 °C | 400 кВт | Крупногабаритные графитовые электроды, плиты |
| Крупногабаритная резистивная очистная печь | φ1400×2000 мм | 2400 °C | 600 кВт | Длинномерные графитовые конструкции, серийные производственные линии |
| Сверхкрупногабаритная резистивная очистная печь | φ1750×1560 мм | 2400 °C | 800 кВт | Сверхкрупный диаметр, требования высокой производительности |
| Крупногабаритная горизонтальная очистная печь | 2000×2200×5600 мм | 2400 °C | 1800/2100 кВт | Непрерывные производственные линии, обработка целых партий в печи |
▶ Принцип процесса: вакуум в сочетании с высокой температурой и реакционной атмосферой, удаление примесей путём высокотемпературного испарения или химических реакций, зольность графита не более 1 ppm, углеродного войлока не более 10 ppm.
▶ Способы нагрева: резистивный нагрев (2400 °C является основным), индукционный нагрев (максимальная температура до 3000 °C, подходит для сверхвысокотемпературных требований).
▶ Типовые области применения: высокочистый графит для полупроводниковой промышленности, подложки из карбида кремния, анодные материалы для новой энергетики, углеродные компоненты для атомной промышленности, углеродные композиционные материалы для аэрокосмической отрасли.
▶ Сервисные возможности: предоставление полного спектра услуг от индивидуального проектирования оборудования, отладки технологического процесса до комплексных решений под ключ, поддержка удалённого мониторинга и эксплуатационного обслуживания.