Продукция
Печь для формовки слябов
Обзор процесса формовки слябов и индивидуальных решений компании Цзюньгэ Чжичэн
Формовка слябов: заключается в размягчении синтезированного кварцевого стержня, полученного методами VAD или MCVD (или высокочистой керамической заготовки), при высокой температуре 1800–2200 °C с последующим вторичным расширением или изменением формы под действием собственного веса или давления с помощью пресс-формы, а также в сочетании с контролируемым отжигом для снятия внутренних напряжений; применяется для производства таких высококачественных изделий, как подложки для фотошаблонов, высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности.
Описание
маркер
Описание продукции:
★ Обзор процесса формовки слябов и индивидуальных решений компании Цзюньгэ Чжичэн
Формовка слябов: заключается в размягчении синтезированного кварцевого стержня, полученного методами VAD или MCVD (или высокочистой керамической заготовки), при высокой температуре 1800–2200 °C с последующим вторичным расширением или изменением формы под действием собственного веса или давления с помощью пресс-формы, а также в сочетании с контролируемым отжигом для снятия внутренних напряжений; применяется для производства таких высококачественных изделий, как подложки для фотошаблонов, высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности. Решение компании Цзюньгэ Чжичэн заключается в добавлении на базе отработанной платформы вакуумной высокотемпературной печи формовочного поста, зонного контроля температуры, изоляции атмосферы и модуля контроля напряжений, предоставляя комплексную услугу под ключ, объединяющую спекание, формовку слябов и отжиг.
★ Основные компоненты, технические параметры и индивидуальные спецификации
Конструкция печи и контроль температуры: горизонтальная или вертикальная вакуумная печь; максимальная температура 2200 °C (для кварцевых изделий) / 2400 °C (для углеродных композиционных материалов); многозонный независимый контроль температуры с точностью ±1 °C, равномерность температурного поля не более ±5 °C; вакуум на уровне 10⁻³ Па, защитная атмосфера из аргона или азота с возможностью регулирования парциального давления для предотвращения испарения.
Формовка и оснастка: формовочные или прессовые формы из высокочистого графита (без загрязнения примесями), поддерживается изменение формы кварцевых стержней диаметром от 300 до 800 мм; опционально доступны механизмы вращения или перемещения (для предотвращения опрокидывания размягчённого материала).
Отжиг и охлаждение: встроенный профиль ступенчатого снижения температуры, медленное охлаждение при температурах выше 1000 °C в сочетании с принудительным газовым охлаждением (для устранения остаточных напряжений).
Типовые индивидуальные размеры
| Индивидуальная спецификация | Эффективная рабочая зона | Максимальная температура | Область применения |
| Малогабаритная для исследований | Φ300×600 мм | 2400 °C | Формовка слябов лабораторных кварцевых заготовок малого размера |
| Среднегабаритная для производства | Φ1300×1600 мм | 2200 °C | Подложки для фотошаблонов размером 6–8 дюймов |
| Крупногабаритная промышленная | Φ2600×1600 мм | 2200 °C | Высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности, крупногабаритные кварцевые пластины |
Технические особенности и области применения
▶ Локализация производства с высоким уровнем чистоты: оснастка из графита, нагревательные элементы и теплоизоляция выполнены из высокочистых материалов (что исключает вторичное загрязнение); вакуумная и инертная атмосфера предотвращают повторное повышение содержания гидроксильных групп.
▶ Интегрированный технологический процесс: за одну загрузку выполняются уплотнительное спекание → высокотемпературная формовка слябов → контролируемый отжиг (без необходимости перегрузки изделия в другую печь), что повышает эффективность и снижает риск загрязнения.
▶ Гибкая индивидуальная настройка нестандартного оборудования: возможна индивидуальная разработка оснастки, зон нагрева и профилей снижения температуры (в соответствии с размерами заготовок заказчика, требуемой степенью изменения формы и стандартами по остаточным напряжениям).
▶ Типовые области применения: кварцевые подложки для полупроводниковых фотошаблонов, высокочистые кварцевые тигли, расширение диаметра заготовок для оптического волокна, авиационные оптические кварцевые детали.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Спекательная печь, горячепрессовальная печь
Вакуумная высокотемпературная спекательная печь (основная промышленная модель, 2400 °C) Позиционирование: бескислородное и высоковакуумное спекание полупроводниковых графитовых деталей, керамики из карбида кремния, твёрдых сплавов, углерод-углеродных композиционных материалов
Печь для обезжиривания
Горизонтальная вакуумная комбинированная печь для обезжиривания и предварительного спекания (для промышленного серийного производства) Применение: серийное обезжиривание графитовых и керамических заготовок, удаление парафина, поливинилового спирта, фенолоформальдегидной смолы и других связующих веществ; возможность сопряжения с последующей высокотемпературной графитизацией
Плавильная печь
Описание продукции: Вакуумная высокотемпературная плавильная / плавильная печь компании Цзянсу Цзюньгэ Чжичэн Технология (предприятие использует стандартное наименование «вакуумная плавильная печь») является ключевым термическим оборудованием для полупроводниковой, новой энергетической, высококачественной углеродной и специальных сплавов отраслей, позволяющим осуществлять плавление, разливку в слитки, очистку и направленную кристаллизацию металлов, сплавов и высокочистых соединений в условиях высокого вакуума или инертной атмосферы, а также адаптирована для процессов плавления керамических порошков и пропитки высокочистых графитовых конструкций, обладает полной способностью предоставлять комплексные решения под ключ с локализацией производства.
Высокотемпературная очистная печь
Данная серия печей представляет собой специализированное оборудование для вакуумной высокотемпературной и химической очистки графитовых изделий, порошков, углеродного войлока, углерод-углеродных композиционных материалов, позволяющее стабильно очищать графит до уровня ниже 1 ppm (что соответствует требованиям полупроводникового уровня чистоты 5N5).
Печь для карбонизации и графитизации
Данная серия печей подразделяется на печи с резистивным нагревом (стандартная температура 2200–2400 °C), печи с индукционным нагревом (максимальная температура до 3000 °C), а также горизонтальные непрерывные печи, позволяющие в вакуумной или инертной атмосфере выполнять последовательную обработку углеродного волокнистого войлока, углерод-углеродных композиционных материалов, твёрдого углерода для натрий-ионных аккумуляторов, графитовых заготовок, включая карбонизацию (на уровне 1800 °C) и графитизацию (в диапазоне 2200–2400 °C), при этом отдельные модели могут быть дополнены функцией очистки.
Печь для пайки
Печи для пайки компании Цзюньгэ Чжичэн в основном представлены горизонтальными вакуумными печами для пайки, а также предлагаются камерные малогабаритные печи для пайки (для исследовательских целей и мелкосерийного производства) и индивидуальные многозонные печи для пайки с высоким давлением и газовым охлаждением. Все модели оснащены бескислородной вакуумной и высокочистой инертной атмосферой, что исключает окисление, образование пор и потерю припоя, что особенно важно для полупроводниковых и аэрокосмических деталей, предъявляющих высокие требования к чистоте.
Непрерывная комбинированная печь для карбонизации, графитизации и очистки
Непрерывная комбинированная печь для карбонизации, графитизации и очистки является ключевым оборудованием, специально разработанным для непрерывного, серийного и высокочистого производства углеродных материалов, позволяющим выполнять полный технологический цикл карбонизации, графитизации и высокотемпературной очистки в единой вакуумной системе, что значительно сокращает технологический путь, повышает чистоту и производственную эффективность, адаптирована для таких высокотехнологичных областей, как полупроводниковая промышленность, новая энергетика и передовые углеродные материалы.
