
Обзор процесса формовки слябов и индивидуальных решений компании Цзюньгэ Чжичэн
Формовка слябов: заключается в размягчении синтезированного кварцевого стержня, полученного методами VAD или MCVD (или высокочистой керамической заготовки), при высокой температуре 1800–2200 °C с последующим вторичным расширением или изменением формы под действием собственного веса или давления с помощью пресс-формы, а также в сочетании с контролируемым отжигом для снятия внутренних напряжений; применяется для производства таких высококачественных изделий, как подложки для фотошаблонов, высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности.
Описание продукции:
★ Обзор процесса формовки слябов и индивидуальных решений компании Цзюньгэ Чжичэн
Формовка слябов: заключается в размягчении синтезированного кварцевого стержня, полученного методами VAD или MCVD (или высокочистой керамической заготовки), при высокой температуре 1800–2200 °C с последующим вторичным расширением или изменением формы под действием собственного веса или давления с помощью пресс-формы, а также в сочетании с контролируемым отжигом для снятия внутренних напряжений; применяется для производства таких высококачественных изделий, как подложки для фотошаблонов, высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности. Решение компании Цзюньгэ Чжичэн заключается в добавлении на базе отработанной платформы вакуумной высокотемпературной печи формовочного поста, зонного контроля температуры, изоляции атмосферы и модуля контроля напряжений, предоставляя комплексную услугу под ключ, объединяющую спекание, формовку слябов и отжиг.
★ Основные компоненты, технические параметры и индивидуальные спецификации
Конструкция печи и контроль температуры: горизонтальная или вертикальная вакуумная печь; максимальная температура 2200 °C (для кварцевых изделий) / 2400 °C (для углеродных композиционных материалов); многозонный независимый контроль температуры с точностью ±1 °C, равномерность температурного поля не более ±5 °C; вакуум на уровне 10⁻³ Па, защитная атмосфера из аргона или азота с возможностью регулирования парциального давления для предотвращения испарения.
Формовка и оснастка: формовочные или прессовые формы из высокочистого графита (без загрязнения примесями), поддерживается изменение формы кварцевых стержней диаметром от 300 до 800 мм; опционально доступны механизмы вращения или перемещения (для предотвращения опрокидывания размягчённого материала).
Отжиг и охлаждение: встроенный профиль ступенчатого снижения температуры, медленное охлаждение при температурах выше 1000 °C в сочетании с принудительным газовым охлаждением (для устранения остаточных напряжений).
| Индивидуальная спецификация | Эффективная рабочая зона | Максимальная температура | Область применения |
| Малогабаритная для исследований | Φ300×600 мм | 2400 °C | Формовка слябов лабораторных кварцевых заготовок малого размера |
| Среднегабаритная для производства | Φ1300×1600 мм | 2200 °C | Подложки для фотошаблонов размером 6–8 дюймов |
| Крупногабаритная промышленная | Φ2600×1600 мм | 2200 °C | Высокочистые кварцевые корпуса для полупроводниковой промышленности, крупногабаритные кварцевые пластины |
▶ Локализация производства с высоким уровнем чистоты: оснастка из графита, нагревательные элементы и теплоизоляция выполнены из высокочистых материалов (что исключает вторичное загрязнение); вакуумная и инертная атмосфера предотвращают повторное повышение содержания гидроксильных групп.
▶ Интегрированный технологический процесс: за одну загрузку выполняются уплотнительное спекание → высокотемпературная формовка слябов → контролируемый отжиг (без необходимости перегрузки изделия в другую печь), что повышает эффективность и снижает риск загрязнения.
▶ Гибкая индивидуальная настройка нестандартного оборудования: возможна индивидуальная разработка оснастки, зон нагрева и профилей снижения температуры (в соответствии с размерами заготовок заказчика, требуемой степенью изменения формы и стандартами по остаточным напряжениям).
▶ Типовые области применения: кварцевые подложки для полупроводниковых фотошаблонов, высокочистые кварцевые тигли, расширение диаметра заготовок для оптического волокна, авиационные оптические кварцевые детали.